PlasCalc系列等離子體監(jiān)控系統(tǒng)

可在僅3ms內(nèi)測(cè)量200～1100nm波長(zhǎng)范圍內(nèi)的等離子體的發(fā)射。PlasCals測(cè)量系統(tǒng)為數(shù)據(jù)的獲取提供過(guò)程控制和精密的數(shù)據(jù)運(yùn)算。 1.0nm(FWHM)光學(xué)解析度 200～1100nm波長(zhǎng)范圍 快速建立和保存實(shí)驗(yàn)方法 查看通用的等離子體測(cè)量系統(tǒng)

編輯工具

編輯工具可以使用戶簡(jiǎn)單、快速地設(shè)置、建立和保存實(shí)驗(yàn)方法。利用該工具可以對(duì)多數(shù)復(fù)雜的等離子體過(guò)程建立簡(jiǎn)便而有效的步驟設(shè)置：例如測(cè)量薄膜沉積情況、監(jiān)測(cè)等離子蝕刻、檢查表面清潔處理、分析等離子室健康控制情況、監(jiān)測(cè)反常的污染和排放現(xiàn)象等。

用于簡(jiǎn)單的等離子體診斷的多重工具

PlasCalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)配有操作軟件，所提供的完整的公式編輯器可以進(jìn)行所有需要的數(shù)學(xué)和算法功能。我們同時(shí)提供一個(gè)可選配的放射波長(zhǎng)數(shù)據(jù)庫(kù)，可以另外單獨(dú)購(gòu)買，它能夠提供種類的鑒定；而波長(zhǎng)編輯器則使用戶完成信噪比的優(yōu)化。操作界面包含兩個(gè)窗口，可以同時(shí)顯示真實(shí)的光譜和所有控制過(guò)程信息。

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